真空熱壓燒結爐依使用溫度的不同可分為以下幾類。由于使用溫度的不同，加熱室中所采用的加熱方式及保溫方式千差萬別。溫度在800℃以下的爐子，加熱器常采用鐵鉻鋁、鎳鉻絲等作為加熱元件，保溫材料常采用高溫硅酸鋁保溫氈。溫度在1000℃-1600℃常采用金屬鉬、硅鉬棒、硅碳棒等作為加熱元件，保溫材料常用復合碳氈、莫來石氈等。溫度在1600℃--2200℃常用石墨管作為加熱元件，或采用感應加熱方式，保溫材料常用石墨氈等。
真空熱壓燒結爐的爐殼由爐體和爐門構成，為雙層冷卻水套式結構。設備爐殼是按蕞大承受壓力范圍為-0.1~0.05MPa設計。 爐殼為臥式，側開平移門，爐殼上有真空系統接口，測溫接口，水冷電極接口、充放氣接口及視孔接口等，均按高真空靜密封標準設計；爐體上的上下壓頭裝臵（上下各一套）、熱電偶裝臵及擋板機構均為高真空動密封結構，爐門和爐殼均采用焊接結構。對于尺寸較小的熱壓爐，爐門與爐體采用鉸鏈連接方式，由于石墨壓頭、爐料及石墨爐具相對較輕，常采取側開爐門與加熱室內的保溫側開門聯為一體，便于加熱元件、壓頭、模具等的安裝及進、出料。對于尺寸較大的熱壓爐，由于石墨壓頭、料及石墨模具較重，則設計成可移動式水冷電纜，將爐門與加熱室聯成一體，通過內、外巧妙設計的軌道，可將加熱室移出爐外特定位臵，實現外加料及外出模并便于加熱室的維護（如更換加熱器）等。
真空熱壓燒結爐的系統通常由擴散泵與機械泵組成高真空擴散泵機組。閥門為專用真空擋板閥，擴散泵上設有冷阱，以防止擴散泵返油。配有羅茨真空泵的系統，具有粗抽旁通管路，用以提高抽氣速率，真空度測量采用復合式數顯真空計。前級機械泵具有停泵自動放氣功能。
根據真空熱壓燒結爐各部分對冷卻水的要求，制作集水排、由閥門、管路等組成；對爐體、爐蓋、真空系統及水冷電極進行冷卻。其中總進水管路安裝水壓傳感器。
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